MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固態(tai)裝(zhuang)配型諧振(zhen)器(qi)(qi)(SMR)方面,論文(wen)采(cai)用上述(shu)模型分(fen)析了四分(fen)之一波長布拉格(ge)反射(she)柵(zha)對(dui)其諧振(zhen)特性的(de)影響,得(de)到了SMR器(qi)(qi)件獲(huo)得(de)理想性能所需的(de)少反射(she)柵(zha)對(dui)數;另外,考慮(lv)到實(shi)際。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓電(dian)層的(de)典型(xing)厚度在幾個微米或壓力場看起來與(yu)(單晶的(de))石英模式的(de)石英這種類(lei)型(xing)的(de)BAW被稱為固態裝配諧振器(qi)(SMR)。魯棒性而言(yan),,則可減少諧振器(qi)。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固(gu)態裝配型諧振(zhen)器(SMR)的模擬分析(xi)湯(tang)亮郝震宏喬(qiao)東海(hai)汪承灝摘要(yao):正1引言近(jin)年來,薄膜體(ti)聲(sheng)波諧振(zhen)器(FBAR)由于(yu)其較小的體(ti)積(ji)以(yi)及可(ke)與IC電路進行單。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這樣(yang)形成的(de)諧(xie)振器(qi)是固態裝(zhuang)配諧(xie)振器(qi)(SMR)。在(zai)一個實施例中,襯底(di)12由硅(Si)制(zhi)成,PZ層18由氮化(hua)鋁(AlN)制(zhi)成。或者,也可以使用其他的(de)壓電材料(liao)來制(zhi)作PZ層18。在(zai)一。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于CMOS工藝的(de)高性(xing)能射(she)頻濾波(bo)器(qi)(qi):體聲波(bo)濾波(bo)器(qi)(qi)BAW第(di)2頁(ye)/共6頁(ye)<上(shang)一頁(ye)下這種類型的(de)BAW被(bei)稱(cheng)為(wei)固態裝(zhuang)配諧振器(qi)(qi)(SMR)。魯(lu)棒性(xing)而言,SMR比膜結構的(de)BAW要(yao)好。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這(zhe)種(zhong)(zhong)類(lei)型的BAW被稱(cheng)為固態裝(zhuang)配(pei)諧振器(SMR)。魯棒性而言,SMR比膜結構的BAW要(yao)好(hao)很多。在劃片和裝(zhuang)配(pei)所(suo)需(xu)的各(ge)種(zhong)(zhong)標準(zhun)工序中,沒(mei)有機械損壞(huai)的風險。壓(ya)電層和電極層上。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電極做成膜(mo)(mo)結(jie)構或一(yi)并沉(chen)積到(dao)一(yi)個薄(bo)的支撐(cheng)膜(mo)(mo)上,形成空(kong)氣一(yi)固體(ti)交界(jie)面;還有一(yi)種方(fang)式(shi)是采用“聲波(bo)鏡(jing)”形成反射面來實現,這種結(jie)構被稱為“固態裝配諧振器(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸鉛(qian)溶膠凝膠諧振器(qi)建(jian)立微型(xing)體聲波(bo)諧振器(qi)機械結構的(de)等效電路(lu)模型(xing),運用PSPICE軟(ruan)件研究4湯(tang)亮;郝震宏;喬東海;汪承灝;;ZnO固態裝配型(xing)諧振器(qi)(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓電(dian)薄膜諧(xie)(xie)振(zhen)器(qi)(qi)可以分類為FBAR(膜體聲諧(xie)(xie)振(zhen)器(qi)(qi))型和SMR(固態裝配諧(xie)(xie)振(zhen)器(qi)(qi))型。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上(shang)述聲波器(qi)件的示例為諸(zhu)如FBAR(膜體聲波諧(xie)振(zhen)(zhen)(zhen)器(qi))和SMR(SolidlyMoutedResonator:固(gu)態裝配(pei)諧(xie)振(zhen)(zhen)(zhen)器(qi))的薄膜諧(xie)振(zhen)(zhen)(zhen)器(qi)。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲諧振器(10;110;和210)包括少部分地補(bu)(bu)償(chang)通(tong)過電(dian)極壓電(dian)疊(die)(die)層(ceng)(18)引入的溫度(du)(du)感(gan)應(ying)效應(ying)的鐵(tie)磁補(bu)(bu)償(chang)器(20;120;和220)。該補(bu)(bu)償(chang)器具(ju)有正頻率(lv)溫度(du)(du)系數,而疊(die)(die)層(ceng)具(ju)有負(fu)。
BAW_百度文庫
包含這(zhe)些壓電薄(bo)膜諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)器(qi)(qi)的濾波器(qi)(qi)也受(shou)到關注。[0003]壓電薄(bo)膜諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)器(qi)(qi)的例子包括FBAR(薄(bo)膜腔聲諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)器(qi)(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝(zhuang)配諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)器(qi)(qi),Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將上述壓電薄膜(mo)(mo)諧振器分為兩種類(lei)型,FBAR(薄膜(mo)(mo)腔聲(sheng)諧振器)和SMR(固態裝配諧振器)。FBAR包(bao)括層疊(die)在諸如(ru)硅或玻璃的基(ji)板(ban)上的上電極(ji)膜(mo)(mo)、壓電膜(mo)(mo)和下電極(ji)膜(mo)(mo)的層疊(die)結(jie)構。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包(bao)含(han)這些壓電(dian)薄(bo)膜諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)的濾波器(qi)也受到關注。壓電(dian)薄(bo)膜諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)的例子包(bao)括(kuo)FBAR(薄(bo)膜腔聲諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態(tai)裝配諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi),SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另外值得一提的是,德國的Infneon公司在2003年推出了具有布拉格反(fan)射(she)層結構的固(gu)貼式(又稱固(gu)態裝(zhuang)配型)薄膜體聲波諧振(zhen)器(qi)(SMR-FBAR)[9-10].而我國關于(yu)。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引(yin)言(yan)固態引(yin)信諧振器是電子安全系統的重要組成(cheng)部分之一,它能在后坐加(jia)速度和旋(xuan)轉離心(xin)力的作用下(xia)向前(qian)運動,使限位保險(xian)處于(yu)鎖(suo)定狀態,從而使引(yin)信處于(yu)待(dai)發(fa)狀態。但是,。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫(hao)米波(bo)平面(mian)振蕩器(qi)基片集(ji)成波(bo)導(dao)相(xiang)位(wei)噪聲雙端口壓控(kong)振蕩器(qi)注(zhu)入(ru)鎖定諧(xie)(xie)波(bo)振蕩器(qi)毫(hao)米波(bo)平面(mian)振蕩器(qi)是(shi)毫(hao)米波(bo)平面(mian)集(ji)成系統ZnO固態裝配型諧(xie)(xie)振器(qi)(SMR)的模(mo)擬分(fen)析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧振(zhen)器(qi)(10;110;和210)包括少部分地補償通過電(dian)極壓電(dian)疊層(18)引入的溫度感應效應的鐵磁補償器(qi)(20;120;和220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵(jian)詞:微波濾波器(qi)時域有(you)限(xian)差(cha)分法階梯阻抗諧振(zhen)器(qi)橢圓函數濾波器(qi)多(duo)層6湯(tang)亮(liang);郝震宏;喬東海;汪(wang)承(cheng)灝;;ZnO固態裝配型諧振(zhen)器(qi)(SMR)的(de)模(mo)擬(ni)分析[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要固態微型(xing)諧(xie)振器的工(gong)作(zuo)頻率高、功率容量大、損耗低(di)、體(ti)積小(xiao),是目前有望第(di)三種為(wei)本(ben)研(yan)究采用反射層聲學隔離(li)固定結構(gou)(SolidlyMountedResonatorSMR),如圖l一。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固(gu)態裝配型諧振器(qi)(SMR)方面,論(lun)文采(cai)用上述(shu)模型分析了(le)(le)四分之一波長(chang)布拉格反射柵對(dui)其諧振特性(xing)的影(ying)響,得到了(le)(le)SMR器(qi)件(jian)獲(huo)得理想性(xing)能所需的少(shao)反射柵對(dui)數;另外,考(kao)慮到實際。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣形成的諧振(zhen)器是固態裝配(pei)諧振(zhen)器(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在(zai)一個實施例中,襯底12由硅(Si)制(zhi)成,。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大字報(bao)利用無線傳感器(qi)(qi)網(wang)絡實(shi)現運(yun)動聲源的定(ding)位與跟(gen)蹤(zong)錄(lu)取,報(bao)告用相(xiang)對運(yun)動幾何求解(jie)BOT問題ZnO固態裝配(pei)型(xing)諧振器(qi)(qi)(SMR)的模擬分(fen)析PGC解(jie)調(diao)光纖傳聲器(qi)(qi)技術的討論一種單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將(jiang)上(shang)述壓(ya)電(dian)(dian)薄膜(mo)(mo)諧(xie)振(zhen)器(qi)分為兩種類型,FBAR(薄膜(mo)(mo)腔聲諧(xie)振(zhen)器(qi))和(he)SMR(固態裝(zhuang)配諧(xie)振(zhen)器(qi))。FBAR包括(kuo)層(ceng)疊在諸如硅(gui)或玻璃(li)的基板上(shang)的上(shang)電(dian)(dian)極(ji)膜(mo)(mo)、壓(ya)電(dian)(dian)膜(mo)(mo)和(he)下電(dian)(dian)極(ji)膜(mo)(mo)的層(ceng)疊。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年10月31日-壓電薄膜(mo)(mo)諧(xie)(xie)振器可分成FBAR(薄膜(mo)(mo)塊體聲波諧(xie)(xie)振器)型和SMR(固態裝配諧(xie)(xie)振器,solidlymountedresonator)型。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該傳感器(qi)是混合型(xing)諧(xie)(xie)振(zhen)無源諧(xie)(xie)振(zhen)結構,其可以在制造過(guo)程中被(bei)集成于車輛地(di)面(mian)連接裝(zhuang)置(zhi)HBAR“高模(mo)薄膜體聲(sheng)波諧(xie)(xie)振(zhen)器(qi)”),或者(zhe)帶有布拉格反射鏡(SMR“固(gu)態(tai)裝(zhuang)配型(xing)諧(xie)(xie)振(zhen)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳感器是(shi)混合型諧振(zhen)(zhen)無源諧振(zhen)(zhen)結構(gou),其(qi)可以在制造過程中被集成(cheng)于車輛地面連接(jie)裝(zhuang)(zhuang)置HBAR"高模薄膜(mo)體聲波諧振(zhen)(zhen)器"),或者帶(dai)有布拉格反射鏡(SMR"固態裝(zhuang)(zhuang)配型諧振(zhen)(zhen)器"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月16日(ri)-[0020]壓電薄(bo)膜(mo)諧振器包括FBAR型和SMR型,其中FBAR是薄(bo)膜(mo)體聲波(bo)諧振器(Film-BulkAcousticResonator)的(de)縮寫,以及SMR是固態安裝諧振器(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年10月5日(ri)-將(jiang)上述(shu)壓電薄膜(mo)諧(xie)振器分為兩種類型,FBAR(薄膜(mo)腔聲諧(xie)振器)和SMR(固態(tai)裝配諧(xie)振器)。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓電薄(bo)膜諧(xie)振(zhen)器(qi)可分成FBAR(薄(bo)膜塊體聲波諧(xie)振(zhen)器(qi))型和(he)SMR(固(gu)態裝配(pei)諧(xie)振(zhen)器(qi),solidlymountedresonator)型。FBAR具有由(you)上部(bu)電極(ji)、壓電膜和(he)下部(bu)電極(ji)構成的。