MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固態裝配型(xing)諧振器(SMR)方面,論文采(cai)用上述模型(xing)分析了(le)四分之一波長布拉格(ge)反射柵對(dui)(dui)其諧振特性的影(ying)響,得(de)到(dao)了(le)SMR器件獲得(de)理想(xiang)性能所需的少反射柵對(dui)(dui)數;另外,考慮到(dao)實際(ji)。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓電層的(de)典型(xing)厚度在幾個微(wei)米或壓力(li)場看起來與(單晶的(de))石英(ying)模式的(de)石英(ying)這種類型(xing)的(de)BAW被稱為(wei)固(gu)態裝(zhuang)配(pei)諧(xie)振器(qi)(SMR)。魯棒性而言,,則可減少諧(xie)振器(qi)。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分(fen)析湯亮郝震宏喬東海汪承灝摘(zhai)要:正1引(yin)言近(jin)年來,薄(bo)膜體聲波(bo)諧振器(FBAR)由于其較(jiao)小的體積以及可與IC電路進(jin)行單(dan)。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這樣(yang)形成的(de)諧振器是固(gu)態裝配諧振器(SMR)。在一(yi)個(ge)實施例(li)中,襯(chen)底12由硅(gui)(Si)制成,PZ層18由氮化(hua)鋁(AlN)制成。或者,也(ye)可以(yi)使(shi)用其他的(de)壓電材料來(lai)制作PZ層18。在一(yi)。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于CMOS工藝的高性能射頻(pin)濾(lv)波器:體聲波濾(lv)波器BAW第2頁/共6頁<上一頁下(xia)這種類型的BAW被稱為固(gu)態裝配諧振器(SMR)。魯棒性而言,SMR比膜結(jie)構的BAW要(yao)好。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種類型的BAW被稱為固態(tai)裝(zhuang)配(pei)諧振器(SMR)。魯棒(bang)性而言,SMR比膜(mo)結(jie)構的BAW要(yao)好(hao)很多。在劃(hua)片和裝(zhuang)配(pei)所需的各種標(biao)準(zhun)工(gong)序中,沒有機械損(sun)壞的風(feng)險(xian)。壓(ya)電層和電極層上。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電極做成膜(mo)結構或一(yi)并沉積到一(yi)個薄的支撐膜(mo)上,形成空氣(qi)一(yi)固體交界面;還(huan)有一(yi)種(zhong)方式是采用“聲波鏡(jing)”形成反射面來(lai)實現(xian),這種(zhong)結構被稱為(wei)“固態裝配諧振器(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸鉛溶膠(jiao)凝膠(jiao)諧振(zhen)器(qi)建立微(wei)型體聲波(bo)諧振(zhen)器(qi)機械結構的等效電路模型,運用PSPICE軟件研究4湯亮;郝震宏;喬東海;汪承(cheng)灝;;ZnO固(gu)態(tai)裝配型諧振(zhen)器(qi)(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓電薄膜諧振器(qi)可以分類(lei)為FBAR(膜體聲諧振器(qi))型和(he)SMR(固態(tai)裝(zhuang)配諧振器(qi))型。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上述(shu)聲波器(qi)件的示例為諸如FBAR(膜體聲波諧振器(qi))和SMR(SolidlyMoutedResonator:固態裝配諧振器(qi))的薄(bo)膜諧振器(qi)。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲諧振器(10;110;和(he)210)包括(kuo)少部分地補(bu)償(chang)(chang)通過(guo)電極壓電疊層(18)引(yin)入(ru)的(de)溫度感應(ying)效(xiao)應(ying)的(de)鐵磁補(bu)償(chang)(chang)器(20;120;和(he)220)。該補(bu)償(chang)(chang)器具有(you)正頻率溫度系數,而疊層具有(you)負(fu)。
BAW_百度文庫
包含這(zhe)些壓(ya)電薄膜(mo)(mo)諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)的(de)濾波器(qi)也受到關注。[0003]壓(ya)電薄膜(mo)(mo)諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)的(de)例子包括(kuo)FBAR(薄膜(mo)(mo)腔聲諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型(xing)和SMR(固態裝(zhuang)配(pei)諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi),Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將上述壓電(dian)薄膜(mo)(mo)諧(xie)振(zhen)器(qi)分為兩種(zhong)類型,FBAR(薄膜(mo)(mo)腔聲諧(xie)振(zhen)器(qi))和SMR(固態(tai)裝(zhuang)配(pei)諧(xie)振(zhen)器(qi))。FBAR包括層疊(die)在諸如(ru)硅(gui)或玻璃的基板上的上電(dian)極(ji)膜(mo)(mo)、壓電(dian)膜(mo)(mo)和下(xia)電(dian)極(ji)膜(mo)(mo)的層疊(die)結(jie)構。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包(bao)(bao)含(han)這些(xie)壓(ya)電薄(bo)膜(mo)(mo)諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)(qi)的濾波器(qi)(qi)也(ye)受到關注。壓(ya)電薄(bo)膜(mo)(mo)諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)(qi)的例(li)子(zi)包(bao)(bao)括FBAR(薄(bo)膜(mo)(mo)腔聲諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態(tai)裝配諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)(qi),SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另外值得一提的(de)(de)是,德國(guo)的(de)(de)Infneon公司在2003年推出了具有布拉格反射層結構的(de)(de)固貼式(又稱固態裝配型)薄膜體聲波(bo)諧振器(SMR-FBAR)[9-10].而我國(guo)關(guan)于(yu)。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引言固態(tai)引信(xin)諧振器是電子(zi)安全系統(tong)的重要組成部(bu)分之一,它能(neng)在后坐加(jia)速度和旋轉離心力的作用下向前運動,使限(xian)位保險處(chu)(chu)于鎖定(ding)狀態(tai),從而使引信(xin)處(chu)(chu)于待發狀態(tai)。但是,。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫米(mi)波(bo)平面振(zhen)(zhen)蕩器基片集(ji)(ji)成波(bo)導相位(wei)噪聲雙端口壓控振(zhen)(zhen)蕩器注入鎖(suo)定(ding)諧(xie)波(bo)振(zhen)(zhen)蕩器毫米(mi)波(bo)平面振(zhen)(zhen)蕩器是毫米(mi)波(bo)平面集(ji)(ji)成系(xi)統ZnO固態裝(zhuang)配型諧(xie)振(zhen)(zhen)器(SMR)的模(mo)擬分析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧振器(10;110;和210)包括少部分地補償通(tong)過電(dian)(dian)極壓(ya)電(dian)(dian)疊層(18)引入的(de)溫(wen)度感應(ying)(ying)效應(ying)(ying)的(de)鐵磁補償器(20;120;和220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關(guan)鍵詞:微波濾波器(qi)(qi)時域有限(xian)差分法(fa)階梯阻抗(kang)諧(xie)振(zhen)器(qi)(qi)橢圓函數濾波器(qi)(qi)多(duo)層6湯亮(liang);郝震宏;喬東海;汪(wang)承(cheng)灝;;ZnO固態(tai)裝配(pei)型諧(xie)振(zhen)器(qi)(qi)(SMR)的模擬分析[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要固態(tai)微型諧振(zhen)器的工作頻率高、功率容(rong)量大(da)、損耗低、體積小,是目(mu)前(qian)有望第(di)三種為本研究采用反射層聲學隔離固定(ding)結(jie)構(SolidlyMountedResonatorSMR),如(ru)圖l一。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固(gu)態裝配型諧振器(qi)(qi)(SMR)方面,論文(wen)采用上述模型分(fen)析了四分(fen)之一(yi)波長(chang)布拉格反射柵對其諧振特性的影響,得到了SMR器(qi)(qi)件獲得理想性能所需(xu)的少反射柵對數;另(ling)外(wai),考慮到實際(ji)。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣形成的諧振(zhen)(zhen)器(qi)是固態(tai)裝配諧振(zhen)(zhen)器(qi)(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一個實施例(li)中,襯底12由(you)硅(Si)制成,。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大字報利用無線傳(chuan)感器網絡實現(xian)運(yun)動聲(sheng)源(yuan)的(de)定位(wei)與跟蹤錄取,報告用相對運(yun)動幾(ji)何求解BOT問(wen)題ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的(de)模(mo)擬分(fen)析PGC解調光纖傳(chuan)聲(sheng)器技術的(de)討(tao)論一種單(dan)。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上述壓電薄膜諧振(zhen)器(qi)(qi)分為兩種(zhong)類(lei)型,FBAR(薄膜腔聲諧振(zhen)器(qi)(qi))和SMR(固態裝配諧振(zhen)器(qi)(qi))。FBAR包括層疊在諸如硅或玻璃的(de)(de)基(ji)板上的(de)(de)上電極膜、壓電膜和下(xia)電極膜的(de)(de)層疊。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年10月31日-壓(ya)電薄膜諧振器可分(fen)成FBAR(薄膜塊(kuai)體聲(sheng)波(bo)諧振器)型和SMR(固態(tai)裝配(pei)諧振器,solidlymountedresonator)型。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該(gai)傳感器(qi)是混(hun)合型諧振(zhen)無(wu)源諧振(zhen)結構(gou),其可(ke)以在制造(zao)過程中被(bei)集(ji)成于車輛地面(mian)連(lian)接裝置HBAR“高模薄膜體聲波諧振(zhen)器(qi)”),或(huo)者帶有布(bu)拉格反射(she)鏡(jing)(SMR“固態(tai)裝配(pei)型諧振(zhen)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳感器(qi)是混合型(xing)諧(xie)振(zhen)無(wu)源諧(xie)振(zhen)結構(gou),其可(ke)以在制造(zao)過(guo)程中被集(ji)成(cheng)于車輛地面連接裝(zhuang)置(zhi)HBAR"高模(mo)薄膜體聲波諧(xie)振(zhen)器(qi)"),或(huo)者帶有布拉格(ge)反(fan)射鏡(SMR"固態裝(zhuang)配型(xing)諧(xie)振(zhen)器(qi)"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月16日-[0020]壓電薄(bo)膜(mo)(mo)諧(xie)振(zhen)器(qi)包括FBAR型(xing)(xing)和(he)SMR型(xing)(xing),其中(zhong)FBAR是(shi)薄(bo)膜(mo)(mo)體聲波諧(xie)振(zhen)器(qi)(Film-BulkAcousticResonator)的縮(suo)寫(xie),以(yi)及SMR是(shi)固態安(an)裝諧(xie)振(zhen)器(qi)(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年10月5日-將上(shang)述壓(ya)電薄(bo)膜諧(xie)振(zhen)(zhen)器分為兩種(zhong)類(lei)型,FBAR(薄(bo)膜腔聲(sheng)諧(xie)振(zhen)(zhen)器)和SMR(固態裝(zhuang)配諧(xie)振(zhen)(zhen)器)。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓電(dian)薄膜諧(xie)振(zhen)器可分成FBAR(薄膜塊(kuai)體聲(sheng)波(bo)諧(xie)振(zhen)器)型(xing)和(he)SMR(固態裝配諧(xie)振(zhen)器,solidlymountedresonator)型(xing)。FBAR具(ju)有(you)由上部(bu)電(dian)極、壓電(dian)膜和(he)下部(bu)電(dian)極構成的。