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2013年3月19日-1032CN200910020810.2一(yi)種碳(tan)(tan)化(hua)硅基增強復(fu)合陶瓷及制(zhi)備方法(fa)1033CN200810237334.5一(yi)種碳(tan)(tan)化(hua)硅匣缽(bo)磚生(sheng)產工(gong)藝1034CN200710304217.1一(yi)種用于微電(dian)子(zi)機械系統的碳(tan)(tan)化(hua)硅。
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