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論文(wen):摘(zhai)要:微電(dian)子機械系(xi)統(tong)(MEMS)是(shi)一項21世紀(ji)可(ke)以廣泛應用的(de)(de)新(xin)興(xing)技術。硅微機械加工工藝(yi)是(shi)近年來隨著集成電(dian)路工藝(yi)發展起來的(de)(de)MEMS主流(liu)技術。介紹(shao)了(le)MEMS的(de)(de)特點。
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硅微機械加工技術,作者:(法)M.埃爾溫斯波克//(捷)H.揚森譯者:姜(jiang)巖峰,ISBN:9787502592585,化學(xue)工業,2008-05-01第1版2008-05-01第1次印刷(shua)。博庫網全場。
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