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硅粉加工工藝設備的發展趨勢_百度文庫
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2011年10月11日-擔(dan)任上海三和硅(gui)業有(you)限責任公(gong)司(si)總經理(li)全面負責公(gong)司(si)的硅(gui)粉生產、設備的改(gai)造和2011年成(cheng)立(li)江蘇(su)奇新金屬(shu)硅(gui)深加工機械設備有(you)限公(gong)司(si)擔(dan)任法定代(dai)表人兼(jian)總經理(li)。
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論(lun)文(wen):摘要(yao):微電子機(ji)械系統(MEMS)是(shi)一項21世紀可(ke)以廣泛應用的新興技術(shu)。硅(gui)微機(ji)械加工(gong)工(gong)藝是(shi)近年來隨著集成電路(lu)工(gong)藝發展起(qi)來的MEMS主流(liu)技術(shu)。介紹了MEMS的特點。
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硅微機械加工技術,作者:(法)M.埃爾溫斯(si)波(bo)克//(捷)H.揚森(sen)譯者:姜巖峰,ISBN:9787502592585,化(hua)學(xue)工業,2008-05-01第1版(ban)2008-05-01第1次印(yin)刷。博庫網(wang)全場。
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