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導體器件制造方法,其采用(yong)可(ke)以很(hen)容易地去除蝕刻阻止膜(mo)或碳化硅(gui)制成的(de)硬掩(yan)膜(mo)的(de)工藝$240200710171711一(yi)種碳化硅(gui)陶瓷(ci)密封(feng)環[摘要]本發(fa)明涉(she)及一(yi)種碳化硅(gui)陶瓷(ci)密封(feng)環。

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