鎢電極研磨工藝的機械化-《電焊機》2004年09期
2004年(nian)9月23日-鎢電極研磨(mo)(mo)工藝機(ji)械化焊(han)接電極頭表(biao)面(mian)粗糙度(du)焊(han)接工藝研磨(mo)(mo)機(ji)幾何形狀研磨(mo)(mo)砂輪(lun)焊(han)縫質量。
一種減少鎢化學機械研磨微刮痕的工藝-200410066764-錢眼
一(yi)種(zhong)減少鎢(wu)化學機械研磨微刮(gua)痕的(de)工藝,提供一(yi)半導體基底,其(qi)制作鎢(wu)插塞的(de)主要步驟(zou)有(you)光阻涂布、微影(ying),蝕刻。
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2013年6月22日-鞏義(yi)市(shi)佛瑞機械廠是專(zhuan)業(ye)生產(chan)鎢(wu)礦選(xuan)(xuan)礦設備(bei)的廠家[供(gong)(gong)]鎢(wu)礦石的浮選(xuan)(xuan)工藝流程,選(xuan)(xuan)鎢(wu)礦設備(bei)價格,[供(gong)(gong)]專(zhuan)業(ye)生產(chan)螺(luo)旋(xuan)式振動研磨機10/14[供(gong)(gong)。
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黝(you)圖1-6銅化(hua)學機械拋光(guang)工藝(yi)流程(cheng)圖1-7雙嵌入形成(cheng)鎢插(cha)塞和局(ju)部互連1.3鎢鑲嵌圖3—2拋光(guang)速率,均(jun)勻性(xing)和研磨臺轉速的依(yi)存性(xing)(32藝(yi)條件拋光(guang)頭壓力-250hap;。
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一種改善接觸孔之鎢化(hua)學機械(xie)研磨后平坦性的方法,包括:步驟S1:在硅(gui)基襯底上(shang)制備前道器件和絕(jue)緣介質層(ceng);步驟S2:在接觸絕(jue)緣介質層(ceng)上(shang)淀(dian)積對鎢金屬具有高研磨選(xuan)擇(ze)比(bi)的。
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